Fornitura Di Un Sistema Atomic Layer Deposition (ald). Sistema Per La Deposizione Di Film Sottili - Strati Atomici Atomic Layer Deposition (ald)' Da Installare Nel Laboratorio Clean Room Detector Della Fondazione Bruno Kessler Per Lo Sviluppo Della Facility '3d Integration' Nell'ambito Del Progetto 'ipcei Microelettronica'